EDX (Energiedispersive Röntgenspektroskopie)

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Definition

EDX (Energy Dispersive X-ray Spectroscopy) ist eine analytische Methode zur qualitativen und semiquantitativen Elementanalyse. Sie wird in Kombination mit REM eingesetzt und nutzt die charakteristische Roentgenstrahlung angeregter Atome.

Kernaussage: EDX ermoeglicht die zerstoerungsfreie Elementanalyse direkt im REM mit einer lateralen Aufloesung im Mikrometerbereich. Alle Elemente ab Bor sind nachweisbar.

Normen und Standards

NormAnwendungsbereich
DIN EN ISO 22309Mikrobereichsanalyse - EDX
ASTM E1508Standard Guide for EDX

Pruefverfahren

  • Elektronenstrahlbestrahlung der Probe im REM
  • Detektion der charakteristischen Roentgenstrahlung
  • Elementidentifikation anhand der Energiespektren
  • Quantifizierung ueber ZAF-Korrektur

Anwendungsbereiche

  • Fuellstoffidentifikation in Kunststoffen
  • Korrosionsanalyse
  • Partikelcharakterisierung
  • Schichtanalyse